[发明专利]感光性聚硅氧烷组成物、保护膜以及具有保护膜的元件

摘要

本发明提供一种显影时的密着性佳的感光性聚硅氧烷组成物、保护膜及具有保护膜的元件。感光性聚硅氧烷组成物包括聚硅氧烷(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)以及溶剂(C)。聚硅氧烷(A)是由单体组分聚缩合而得，其中单体组分包括含钛化合物(a‑1)与式(2)表示的硅烷单体(a‑2)。含钛化合物(a‑1)选自由式(1‑1)表示的化合物以及加水分解性钛二聚体所组成的族群。Ti(R¹)_a(R²)_4‑a式(1‑1)Si(R^a)_w(OR^b)_4‑w式(2)。

主权项

一种感光性聚硅氧烷组成物，包括：聚硅氧烷(A)；邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)；以及溶剂(C)，其中，所述聚硅氧烷(A)是由单体组分聚缩合而得，其中所述单体组分包括含钛化合物(a‑1)与式(2)表示的硅烷单体(a‑2)，所述含钛化合物(a‑1)选自由式(1‑1)表示的化合物以及加水分解性钛二聚体所组成的族群，Ti(R¹)_a(R²)_4‑a   式(1‑1)式(1‑1)中，R¹各自独立表示具有烷基、芳基、卤化烷基、卤化芳基、烯基、环氧基、丙烯酰基、甲基丙烯酰基、巯基、胺基或氰基的有机基，且所述有机基通过Ti‑C键与钛原子键结；R²各自独立表示烷氧基、酰氧基或卤素原子；a表示0至2的整数，Si(R^a)_w(OR^b)_4‑w   式(2)式(2)中，R^a各自独立表示氢原子、碳数为1至10的烷基、碳数为2至10的烯基、碳数为6至15的芳基、含有酸酐基的烷基、含有环氧基的烷基或含有环氧基的烷氧基；R^b各自独立表示氢原子、碳数为1至6的烷基、碳数为1至6的酰基或碳数为6至15的芳基；w表示1至3的整数。