[发明专利]薄膜晶体管、薄膜晶体管的制备方法及液晶显示面板

摘要

本发明提供一种薄膜晶体管、液晶显示面板及薄膜晶体管的制备方法。薄膜晶体管包括：基板；栅极，设置在基板的表面；栅极绝缘层，覆盖栅极；半导体层，设置在栅极绝缘层远离栅极的表面且对应栅极设置；蚀刻阻挡层，覆盖半导体层，蚀刻阻挡层包括第一贯孔及第二贯孔，第一贯孔及第二贯孔对应半导体层设置以显露部分半导体层；钝化层，覆盖蚀刻阻挡层，钝化层包括第三贯孔及第四贯孔，第三贯孔对应第一贯孔设置且与第一贯孔连通，第四贯孔对应第二贯孔设置且与第二贯孔连通；源极，设置在钝化层上且通过第一贯孔及第三贯孔连接半导体层的一端；及漏极，设置在钝化层上，与源极间隔设置，且通过第二贯孔及第四贯孔连接半导体层的另一端。

主权项

一种薄膜晶体管，其特征在于，所述薄膜晶体管包括：基板；栅极，设置在所述基板的表面；栅极绝缘层，覆盖所述栅极；半导体层，设置在所述栅极绝缘层远离所述栅极的表面且对应所述栅极设置；蚀刻阻挡层，覆盖所述半导体层，所述蚀刻阻挡层包括第一贯孔及第二贯孔，所述第一贯孔及第二贯孔对应所述半导体层设置以显露部分所述半导体层，且所述第一贯孔及所述第二贯孔间隔设置；钝化层，覆盖所述蚀刻阻挡层，所述钝化层包括第三贯孔及第四贯孔，所述第三贯孔对应所述第一贯孔设置且与所述第一贯孔连通，所述第四贯孔对应所述第二贯孔设置且与所述第二贯孔连通；源极，设置在所述钝化层上且通过所述第一贯孔及所述第三贯孔连接所述半导体层的一端；及漏极，设置在所述钝化层上，与所述源极间隔设置，且通过所述第二贯孔及所述第四贯孔连接所述半导体层的另一端。