[发明专利]一种透明聚合物表面的透明疏水耐磨类金刚石薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201610182631.9 | 申请日： | 2016-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN105861990B | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 孙丽丽;汪爱英;郭鹏;张栋;李晓伟;柯培玲 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/06;C23C14/02;C08J7/12;C08L67/02 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种透明聚合物表面的透明疏水耐磨类金刚石薄膜的制备方法。该方法首先对透明聚合物表面进行等离子体刻蚀处理；然后采用线性离子束沉积法，通入碳源气体沉积类金刚石薄膜，在类金刚石薄膜沉积过程中通入Ar气体，使薄膜沉积和气体刻蚀同时进行。利用该方法制得的类金刚石薄膜在保持良好的耐磨性与透光性的同时，还具有疏水特性，实现了兼具耐磨、透明与疏水于一体的类金刚石薄膜，具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 聚合物 表面 疏水 耐磨 金刚石 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种透明聚合物表面的透明疏水耐磨类金刚石薄膜的制备方法，其特征是：包括如下步骤：(1)对透明聚合物表面进行等离子体刻蚀处理；(2)采用线性离子束沉积法，通入碳源气体甲烷，在经过(1)处理后的透明基体表面沉积类金刚石薄膜，同时，在类金刚石薄膜的沉积过程中通入Ar气体，使薄膜沉积和气体刻蚀同时进行；所述类金刚石薄膜表面的水接触角大于90°。
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