[发明专利]膜形成装置在审
| 申请号： | 201610184778.1 | 申请日： | 2016-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN106079205A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 镒广诚 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B29C41/34 | 分类号： | B29C41/34;B29C41/36;B29C33/30;B29L7/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭;郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够减轻维护作业的负担的膜形成装置。多个吐出模块包括向保持于载物台的基板吐出墨滴的喷嘴孔。支承结构物将多个吐出模块支承于载物台的上方。分别与多个吐出模块相对应地配置的供给模块分别向相对应的吐出模块供给墨水。各供给模块包括对墨水进行加热的加热装置。移动机构使载物台和吐出模块的一方相对于另一方移动。控制装置控制吐出模块、移动机构及加热装置。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 装置 | ||
【主权项】：
一种膜形成装置，其特征在于，具有：载物台，保持基板；多个吐出模块，包括向保持于所述载物台的所述基板吐出墨滴的喷嘴孔；支承结构物，将多个所述吐出模块支承于所述载物台的上方；多个供给模块，分别与多个所述吐出模块相对应地配置，并且分别向相对应的所述吐出模块供给墨水，而且包括对墨水进行加热的加热装置；移动机构，使所述载物台和所述吐出模块的一方相对于另一方移动；及控制装置，控制所述吐出模块、所述移动机构及所述加热装置。
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