[发明专利]应用于蒸发镀膜的金属蒸发装置

摘要

本发明揭示了应用于蒸发镀膜的金属蒸发装置，包括陶瓷封接电极和金属蒸发主体，其中，金属蒸发主体包括由复数支撑丝杆贯穿至少三片氧化铝陶瓷片形成的主体支架，主体支架外套有陶瓷管，其一氧化铝陶瓷片上贯穿设置有电极柱，另一氧化铝陶瓷片设置坩埚，加热丝缠绕相邻两氧化铝陶瓷片之间，并且加热丝轴向围绕坩埚的外壁，陶瓷封接电极与电极柱相导通连接。本发明采用钽加热丝或钨加热丝作为加热介质，可以达到较高温度，加热速度快，耗能低；增设了热电偶，能在加热过程中直观的监测温度，有利于控制材料的蒸发；坩埚内蒸发材料与加热丝无接触，增加了使用寿命；具有钽箔层，起到保温隔温的作用，降低加热过程中的热能损耗。

主权项

应用于蒸发镀膜的金属蒸发装置，其特征在于：包括陶瓷封接电极和金属蒸发主体，其中，所述金属蒸发主体包括陶瓷管、坩埚、加热丝和主体支架，三片氧化铝陶瓷片和复数支撑丝杆，所述主体支架由复数支撑丝杆分别贯穿至少三片氧化铝陶瓷片组成，支撑丝杆与氧化铝陶瓷片之间相对固定，相邻氧化铝陶瓷片之间留有间隙，所述陶瓷管套设与所述主体支架上，并且限位于主体支架的两侧氧化铝陶瓷片之间，所述主体支架的一侧氧化铝陶瓷片上贯穿设置有电极柱，另一侧氧化铝陶瓷片上开设有装载所述坩埚的槽孔，所述坩埚设置于所述槽孔内，并且坩埚的敞口朝外，所述加热丝轴向穿接绕置于装载坩埚的氧化铝陶瓷片及与其相邻的氧化铝陶瓷片之间，并且加热丝围绕所述坩埚的外壁，所述加热丝的两端分别与电极柱相导通连接，所述陶瓷封接电极与所述电极柱相导通连接。