[发明专利]蚀刻喷洒模块及使用该蚀刻喷洒模块之湿式蚀刻装置

摘要

本发明涉及一种蚀刻喷洒模块及使用该蚀刻喷洒模块之湿式蚀刻装置，该湿式蚀刻装置包括一腔体以及该蚀刻喷洒模块。该腔体包括一进气口、一出气口、以及一蚀刻液入口。该蚀刻喷洒模块设置于该腔体中以对一基板进行蚀刻。该蚀刻喷洒模块包括一本体以及若干个喷嘴。各喷嘴包括一第一入口、一第二入口、以及一喷嘴出口。该喷嘴出口之一口径小于该第一入口之一口径且小于该第二入口之一口径。该湿式蚀刻装置及该蚀刻喷洒模块能将蚀刻液均匀地喷洒在基板上。

主权项

一种湿式蚀刻装置，其特征在于，包括：一腔体，包括：一进气口，用于导入一蚀刻所需气体；一出气口，用于导出该蚀刻所需气体；以及一蚀刻液入口，用于导入一蚀刻液；以及一蚀刻喷洒模块，设置于该腔体中以对一基板进行蚀刻，该蚀刻喷洒模块包括：一本体，连接至该进气口及该蚀刻液入口；以及若干个喷嘴，设置于该本体朝向该基板之一表面上，各喷嘴呈一上宽下窄的形状且包括：一第一入口，用于导入经由该本体之该蚀刻液；一第二入口，用于导入经由该本体之该蚀刻所需气体；以及一喷嘴出口，该喷嘴出口之一口径小于该第一入口之一口径且小于该第二入口之一口径。