[发明专利]激光加工装置

摘要

提供激光加工装置，能够沿着设定于被加工物的分割预定线高效地实施适当的激光加工。激光加工装置的聚光器包含：聚光透镜，其对从激光光线振荡构件振荡出的激光光线进行会聚；以及球面像差伸长透镜，其将聚光透镜的球面像差伸长。通过从聚光器对保持在卡盘工作台上的被加工物照射脉冲激光光线，而从被加工物的上表面朝向下表面形成盾构隧道，该盾构隧道由细孔和对该孔进行盾构的非晶质构成。

主权项

一种激光加工装置，其具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；激光光线照射构件，其对保持在该卡盘工作台上的被加工物照射脉冲激光光线；以及加工进给构件，其使该卡盘工作台与该激光光线照射构件在加工进给方向上相对地移动，该激光加工装置的特征在于，该激光光线照射构件包含：激光光线振荡构件，其振荡出对于被加工物具有透过性的波长的激光光线；以及聚光器，其对从该激光光线振荡构件振荡出的激光光线进行会聚而对保持在该卡盘工作台上的被加工物进行照射，该聚光器具有：聚光透镜，其对从该激光光线振荡构件振荡出的激光光线进行会聚；以及球面像差伸长透镜，其将该聚光透镜的球面像差伸长，通过从该聚光器对保持在该卡盘工作台上的被加工物照射脉冲激光光线，而从被加工物的上表面朝向下表面形成盾构隧道，该盾构隧道由细孔和对该细孔进行盾构的非晶质构成。