[发明专利]压力传感器在审
申请号: | 201610188426.3 | 申请日: | 2016-03-29 |
公开(公告)号: | CN106052938A | 公开(公告)日: | 2016-10-26 |
发明(设计)人: | 青山伦久;向井元桐 | 申请(专利权)人: | 株式会社不二工机 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 梅高强;高永志 |
地址: | 日本东京都世*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种能够简化组装作业、提高产品精度的压力传感器。本发明的压力传感器具备:隔膜,所述隔膜承受流体的压力;基座,在所述基座与所述隔膜之间形成封入有机油等绝缘性介质的受压空间;压力检测元件,所述压力检测元件设于所述受压空间内并且具备包含接地垫在内的多个接合垫;及多个端子销及1个接地端子销,所述多个端子销及所述1个接地端子销贯通所述基座并且与所述压力检测元件电连接,在所述基座与所述压力检测元件之间配置有除电板,所述除电板在所述压力检测元件侧的表面形成有导电层,并且所述导电层与所述接地垫及所述接地端子销分别电连接。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 | ||
【主权项】:
一种压力传感器,具备:隔膜,所述隔膜承受流体的压力;基座,在所述基座与所述隔膜之间形成封入有机油等绝缘性介质的受压空间;压力检测元件,所述压力检测元件设于所述受压空间内,并且具备包含接地垫在内的多个接合垫;及多个端子销及1个接地端子销,所述多个端子销及所述1个接地端子销贯通所述基座,并且与所述压力检测元件电连接,所述压力传感器的特征在于,在所述基座与所述压力检测元件之间配置有除电板,所述除电板在所述压力检测元件侧的表面形成有导电层,并且所述导电层与所述接地垫及所述接地端子销分别电连接。
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