[发明专利]太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法有效

专利信息
申请号: 201610189088.5 申请日: 2016-03-30
公开(公告)号: CN105742380B 公开(公告)日: 2017-12-19
发明(设计)人: 朱学林;季益群 申请(专利权)人: 江苏欧达丰新能源科技发展有限公司
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法,本发明利用滚轮纳米压印技术,突破丝网印刷技术的线宽和厚度限制,获得更细、更薄的正面电极栅线。纳米压印出来的凹槽图形结构可以填充银浆,并烧结成形。
搜索关键词: 太阳能电池 电极 图形 压印 加工 方法
【主权项】:
一种太阳能电池栅线电极图形的压印加工方法,其特征在于:包括以下步骤:1)干膜铺设:在太阳能电池表面铺设干膜,采用滚压工艺,干膜材料为热塑性感光或水溶性薄膜材料,薄膜厚度20~80微米,滚压时的温度范围60~120摄氏度,压力10KPa~200kPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;2)滚轮压印电极图形:采用滚轮压印时的温度范围60~120摄氏度,压力0.5MPa~10MPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;3)等离子体去除残留层:频率选用微波段,或者射频段,气体采用氧气O2或者四氟化碳CF4,气体流量5~200sccm,功率20~300W;4)滚轮压印银浆:采用滚轮压印时的压力0.5MPa~10MPa,滚压时硅片相对进给速度:5~600毫米/秒;5)溶解去除干膜。
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