[发明专利]一种光敏石英管的处理工艺有效

专利信息
申请号: 201610189555.4 申请日: 2016-03-30
公开(公告)号: CN105859112B 公开(公告)日: 2018-10-23
发明(设计)人: 段玉伟;段其九;韩凯;蔡征海 申请(专利权)人: 江苏圣达石英制品有限公司
主分类号: C03B32/00 分类号: C03B32/00;C03B29/00
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 汤东凤
地址: 222342 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及石英管生产技术领域,具体涉及一种光敏石英管的处理工艺。包括装盘、升温、冷却、热处理和退火五个步骤;本发明针对现有技术中石英管在后续加工过程中羟基回升量过大,且氧原子释放时会氧化电极并造成石英管析晶失透,光通量降低而缩短产品使用寿命的不足,提供了一种可以有效降低石英管中的羟基含量和回升量,从而延长了光敏石英管的使用寿命光敏石英管的脱羟工艺。
搜索关键词: 一种 光敏 石英管 处理 工艺
【主权项】:
1.一种光敏石英管的处理工艺,其特征在于,包括如下步骤:S1.装盘:将石英管整齐码放在至少两层的石墨料盘上,每层石墨料盘上堆放的石英管层数为8‑12层;S2.升温:常温下,将码放好的石墨料盘放入脱羟炉内,匀速升温至600℃,升温速度为4‑6℃/min,保温20‑50min;然后按3‑5℃/min的升温速度升温至800℃,保温20‑50分钟;再按2‑4℃/min的升温速度升温至1050℃,保温210‑250min;S3.冷却:自然降温至650℃,然后通入氮气,降温至300℃;再风冷至60℃以下,出炉;S4.热处理:用煤气、甲烷气和氧气的混合气体对石英管的内外表面进行火抛处理;S5.退火:将石英管放入退火炉中,按300℃/h的速度升温至1150℃,保温30分钟,随炉冷却,得产品。
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