[发明专利]烘烤炉及其调整显示器件上的光阻线的线宽的方法

摘要

本发明公开了一种烘烤炉及其调整显示器件上的光阻线的线宽的方法。烘烤炉包括：炉体，支撑针，升降装置。炉体包括烘烤室，烘烤室用于对经过光阻材料涂布制程后的显示器件实施烘烤制程；升降装置与支撑针连接，升降装置用于通过支撑针提升或降低显示器件中与支撑针对应的预定部分的位置，以在烘烤室对显示器件进行烘烤的过程中调节预定部分的温度，进而调整显示器件上位于预定部分处的光阻线的线宽。本发明能对经过黄光制程后的显示器件上的预定部分的光阻材料的线宽进行调整，以确保显示器件的光阻材料的线宽均匀。

主权项

1.一种烘烤炉，其特征在于，所述烘烤炉包括：/n炉体，所述炉体包括烘烤室，所述烘烤室用于容置显示器件，以及用于对经过光阻材料涂布制程后的所述显示器件实施烘烤制程，其中，所述光阻材料涂布制程和所述烘烤制程均为黄光制程中的子制程；/n支撑针组合，所述支撑针组合设置于所述烘烤室内，所述支撑针组合包括至少三支撑针，所述支撑针用于在所述烘烤室内支撑所述显示器件；/n升降装置组合，所述升降装置组合包括至少三升降装置，所述升降装置与所述支撑针连接，所述升降装置用于通过所述支撑针提升或降低所述显示器件中与所述支撑针对应的预定部分的位置，以在所述烘烤室对所述显示器件进行烘烤的过程中调节所述预定部分的温度，进而调整所述显示器件上位于所述预定部分处的光阻线的线宽，其中，所述光阻线为设置于所述显示器件上的光阻材料在经过所述黄光制程后所形成的图形化部分，所述图形化部分与所述显示器件上待形成的导线对应；/n所述支撑针竖立于所述烘烤室内，所述支撑针包括第一末端和第二末端，所述第一末端用于与所述显示器件接触，所述第二末端与所述升降装置连接；/n所述升降装置设置于所述炉体的底部外侧，所述炉体的底部设置有通孔组合，所述通孔组合包括至少三通孔；/n所述支撑针穿过所述通孔与所述升降装置连接；/n所述烘烤炉还包括加热装置，所述加热装置设置于所述烘烤室的顶部，所述加热装置用于向所述显示器件施加烘烤热量；/n所述升降装置用于通过所述支撑针降低所述显示器件的所述预定部分的位置，以降低所述显示器件的所述预定部分的温度，以增大所述光阻线的线宽，以及用于通过所述支撑针提升所述显示器件的所述预定部分的位置，以提高所述显示器件的所述预定部分的温度，以缩小所述光阻线的线宽；/n所述烘烤炉还包括控制电路，所述控制电路与所述升降装置组合电性连接，所述控制电路用于根据控制指令控制所述升降装置作业，以控制所述预定部分的位置升高或降低；/n所述升降装置包括电动机与螺旋齿轮的组合，所述支撑针与所述螺旋齿轮连接，所述电动机与所述螺旋齿轮耦合，所述电动机用于带动所述螺旋齿轮旋转，以带动所述支撑针升降，从而提升或降低所述显示器件的所述预定部分的位置。/n