[发明专利]石墨薄片层叠体及其制造方法、石墨薄片层叠体每个薄片密封粘合薄片的制造方法

摘要

本发明提供了一种高墨薄片层叠体的制造方法，其特征在于，能够高效率的制造可靠性高的石墨薄片层叠体。本发明提供了一种石墨薄片层叠体的制造方法，其特征在于，准备工序是准备多个石墨薄片和多个第1双面粘合薄片、第1层叠工序是在石墨薄片上层叠第1双面粘合薄片、第1加热工序是对层叠在石墨薄片上的第1双面粘合薄片加热、剥离工序是将第1剥离薄片从加热的第1双面粘合薄片剥离、第2层叠工序是在剥离了第1剥离薄片的第1双面粘合薄片上层叠其它石墨薄片、第3层叠工序是层叠的石墨薄片上层叠其它的第1双面粘合薄片、第2加热工序是对第3层叠工序层叠的第1双面粘合薄片加热、第2加热工序后，剥离工序、第2层叠工序、第3层叠工序及第2加热工序按照同样的顺序反复操作。

主权项

1.一种石墨薄片层叠体的制造方法，其特征在于，包括以下工序：准备工序：准备多个石墨薄片和多个双面粘合物，其中，所述双面粘合物由第1剥离薄片和第1双面粘合薄片组成；第1层叠工序：将第1片所述石墨薄片(1A)和第1片所述双面粘合物(2A)的所述第1双面粘合薄片(22A)相接，使第1片所述双面粘合物(2A)层叠在第1片所述石墨薄片(1A)上；第1加热工序：对第1片所述石墨薄片(1A)上层叠的第1片所述双面粘合物(2A)的所述第1双面粘合薄片(22A)进行加热；剥离工序：将第1片所述双面粘合物(2A)的所述第1剥离薄片(21A)从第1片所述双面粘合物(2A)的所述第1双面粘合薄片(22A)上剥离；第2层叠工序：将第2片所述石墨薄片(1B)层叠在第1片所述双面粘合物(2A)的剥离所述第1剥离薄片(21A)的所述第1双面粘合薄片(22A)露出的面上；第3层叠工序：将第2片所述双面粘合物(2B)的所述第1双面粘合薄片(22B)与第2片所述石墨薄片(1B)相接，使第2片所述双面粘合物(2B)层叠在第2片所述石墨薄片(1B)上；第2加热工序：在第2片所述石墨薄片(1B)的两面分别与第1片所述双面粘合物(2A)的所述第1双面粘合薄片(22A)和第2片所述双面粘合物(2B)的所述第1双面粘合薄片(22B)相接的状态下，对第2片所述双面粘合物(2B)的所述第1双面粘合薄片(22B)进行加热；在所述第2加热工序后，对第2片所述双面粘合物(2B)依次重复执行以下工序：所述剥离工序、所述第2层叠工序、所述第3层叠工序和所述第2加热工序。