[发明专利]一种基于超磁致伸缩薄膜的光纤悬臂梁磁场传感探头在审
申请号: | 201610194409.0 | 申请日: | 2016-03-25 |
公开(公告)号: | CN106569152A | 公开(公告)日: | 2017-04-19 |
发明(设计)人: | 刘月明;严红梅;顾天文;张亮 | 申请(专利权)人: | 中国计量学院 |
主分类号: | G01R33/032 | 分类号: | G01R33/032 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310018 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于超磁致伸缩薄膜的光纤悬臂梁磁场传感探头,属于光纤传感器技术领域。光纤悬臂梁磁场传感探头包括光纤、固支端、光纤悬臂梁、铬金属膜和超磁致伸缩薄膜。光纤悬臂梁位于光纤端面,光纤悬臂梁与光纤端面通过固支端连接,光纤悬臂梁与光纤端面构成法布里‑珀罗谐振腔,光纤悬臂梁外表面依次镀铬金属膜和超磁致伸缩薄膜。在待测磁场中,磁致伸缩薄膜的伸缩导致光纤悬臂梁的挠曲或者谐振频率的变化,通过法布里‑珀罗谐振腔检测该光纤悬臂梁的挠曲或谐振频率变化,从而测得外界磁场的大小。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 超磁致 伸缩 薄膜 光纤 悬臂梁 磁场 传感 探头 | ||
【主权项】:
一种基于超磁致伸缩薄膜的光纤悬臂梁磁场传感探头,包括:光纤、固支端、光纤悬臂梁、铬金属膜、超磁致伸缩薄膜。光纤悬臂梁位于光纤端面,形成光纤一体化,光纤悬臂梁与光纤端面通过固支端连接,光纤悬臂梁与光纤端面构成法布里‑珀罗谐振腔,光纤悬臂梁外表面依次镀铬金属膜和超磁致伸缩薄膜。
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