[发明专利]单晶硅棒金刚线进刀装置

摘要

本发明涉及单晶硅金刚线切割加工设备辅助设备，旨在提供一种单晶硅棒金刚线进刀装置。该种单晶硅棒金刚线进刀装置包括冷却水管、导轮组件、背板、收放线轮组件、减速机固定座、减速机、电机、龙门架、限位装置、滑块、导轨、丝杆螺母座、联轴器和进给丝杆，能利用金刚线切割单晶硅。本发明采用利用收放线装置、排线装置及各导轮组件保证金刚线往复运动平稳，利用滚珠丝杆传动保证进给切割平稳，从而使晶棒切割表面质量好；采用金刚线能减少环境污染，减小硅损耗；三工位及切断自动检测显著提高生产效率。

主权项

单晶硅棒金刚线进刀装置，能利用金刚线截断单晶硅，其特征在于，所述单晶硅棒金刚线进刀装置包括冷却水管、导轮组件、背板、收放线轮组件、减速机固定座、减速机、电机、龙门架、限位装置、滑块、导轨、丝杆螺母座、联轴器和进给丝杆；所述龙门架包括纵向水平杆和两根立杆；所述导轨设有两根，分别对称安装在龙门架的两根立杆上；每根导轨上嵌套有滑块，滑块与背板固定相连，使背板能沿着导轨滑动；所述减速机固定座安装在龙门架的纵向水平杆上，减速机固定在减速机固定座上；所述电机的输出端与减速机的输入端相连，减速机的输出端通过联轴器与进给丝杆相连，进给丝杆与丝杆螺母座固定，丝杆螺母座固定安装在背板上；所述收放线轮组件包括排线装置、收放线装置、收放线轮，收放线轮安装在收放线装置上，且收放线装置能控制收放线轮做旋转运动，排线装置能控制收放线轮做前后运动，收放线装置和排线装置能共同控制绕出收放线轮的金刚线始终处于同一平面；收放线轮组件设有两个，分别设置在背板上，且两个收放线轮组件以进给丝杆为中线，对称安装在背板上；其中一个收放线轮组件中的收放线轮用于作为绕上金刚线的起点，金刚线绕过导轮组件后，另外一个收放线轮组件中的收放线轮用于作为绕上金刚线的终点，且收放线轮能驱动金刚线；所述导轮组件包括导轮轴、滚动轴承、导轮和压盖，导轮利用导轮轴通过背板上的通孔与背板固定连接，导轮通过滚动轴承实现转动；导轮组件设有六个，分别为导轮A组件、导轮B组件、导轮C组件、导轮D组件、导轮E组件、导轮F组件；导轮A组件与导轮B组件分别安装在收放线轮组件的两侧，且导轮A组件与导轮B组件位于同一水平线上；导轮C组件与导轮F组件分别位于导轮A组件与导轮B组件的正下方，且导轮C组件与导轮F组件位于同一水平线上；导轮D组件与导轮E组件位于导轮C组件与导轮F组件的中间，导轮D组件与导轮E组件位于同一水平线上，且导轮D组件和导轮E组件的安装位置高于导轮C组件和导轮F组件的安装位置，在空载状态下，金刚线能仅绕于导轮A组件、导轮B组件、导轮C组件、导轮F组件和两个收放线轮上；导轮A组件、导轮B组件用于金刚线传导及改变方向，导轮C组件和导轮D组件构成一个工位，由导轮D组件和导轮E组件构成第二个工位，由导轮E组件及导轮F组件构成第三个工位；导轮B组件、导轮D组件、导轮E组件中还分别安装有测速装置，分别用于获得导轮B组件、导轮D组件或者导轮E组件的实时转速；所述限位装置设有三个，分别安装在龙门架上；其中两个限位装置用于限制进刀装置行程，即背板的移动范围；另外一个限位装置用于设置进刀起始位置，即金刚线起始切割位置；所述冷却水管固定在背板上，用于冷却金刚线。