[发明专利]用于钨的抛光浆料以及衬底抛光方法在审
| 申请号： | 201610195620.4 | 申请日： | 2014-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN105839110A | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 郑胜元 | 申请（专利权）人： | 优备材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F3/06 | 分类号： | C23F3/06 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 李艳;臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道龙*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 揭示一种用于钨的抛光浆料和一种衬底抛光方法。所述浆料包含用于进行抛光且具有正动电位的磨料以及用于促进钨的氧化且用于控制所述磨料的动电位的电位调节剂。本发明的抛光浆料具有钨对绝缘层的高抛光选择性、低抛光选择性和反抛光选择性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 抛光 浆料 以及 衬底 方法 | ||
【主权项】：
一种用于钨的抛光浆料，包括：磨料，用于进行抛光且具有正的动电位；以及电位调节剂，用于控制所述磨料的所述动电位，所述电位调节剂包括选自由以下各者组成的群组中的至少一者：硫酸铁铵、草酸铁钾、乙二胺四乙酸铁钠、铁氰化钾、乙酰丙酮铁(III)、柠檬酸铁铵和草酸铁铵。
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