[发明专利]用于测量光学成像系统的成像性质的装置和方法

摘要

本发明涉及用于测量光学成像系统的成像性质的装置和方法。本发明涉及用于测量光学成像系统（4）的成像性质的装置和方法，其中装置（2）被发展在于：包括具有分划板（10）的准直器（6）、图像传感器（14）以及处理单元（16），其中所述准直器（6）照明光学成像系统（4）以使得分划板（10）的测试图案（20）至少大致在特定距离处成像，其中测试图案（20）具有纵向方向（L），其中该纵向方向（L）包括与准直器（6）的光轴（A）的不等于90°的角度（α），并且其中处理单元（16）设置为在由所述图像传感器（14）检测的所述测试图案（20）的图像的彼此不同的多个区域（B1、B2）中执行多频MFT分析。

主权项

1.一种用于测量光学成像系统（4）的成像性质的装置（2），其特征在于，包括具有分划板（10）的准直器（6）、图像传感器（14）以及处理单元（16），其中‑ 所述准直器（6）和光学成像系统（4）相对于彼此布置，以使得所述光学成像系统（4）可以由所述准直器（6）照明，所述准直器（6）在特定距离处对所述分划板（10）的测试图案（20）成像，‑ 所述测试图案（20）具有至少一个方向（L、L1、L2），其中该方向（L、L1、L2）与所述准直器（6）的光轴（A）之间的角度不等于90°，其中由于这种有角度的布置，所述测试图案部分位于物平面前方并且部分位于物平面后方，所述物平面通过光学成像系统清晰地成像在像平面中，并且‑ 所述图像传感器（14）布置为在所述光学成像系统（4）的焦平面中，并且‑ 所述处理单元（16）设置为在由所述图像传感器（14）检测的所述测试图案（20）的图像的多个区域（B1、B2）中执行多频MTF分析，所述多个区域（B1、B2）彼此不同，并且在所述方向（L、L1、L2）上相对于彼此偏移。