[发明专利]一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜及其制备方法

摘要

一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，设置有第一氧化物层、金属膜夹层和位于金属膜夹层之上的第二氧化物层；第一氧化物层为单层或复合多层宽禁带一元氧化物非晶态薄膜，宽禁带一元氧化物为氧化钛、氧化铝、氧化锆或氧化镁。金属膜夹层为银或铜单质薄膜或者其合金薄膜。第二氧化物层为透明氧化物(In2O3)x(MO)y(ZnO)z非晶态薄膜。该透明导电薄膜结构简单，能够简化制备工序，所获得透明导电薄膜透光率高、导电性好、热稳定性佳。本发明的制备工艺实现了以简单步骤制备得到透光率高、导电性好、热稳定性佳的透明导电薄膜。

主权项

一种应用于柔性光电器件的透明导电薄膜，其特征在于：设置有第一氧化物层、设置于第一氧化物层之上的金属膜夹层和设置于金属膜夹层之上的第二氧化物层；所述第一氧化物层为单层或复合多层宽禁带一元氧化物非晶态薄膜，所述宽禁带一元氧化物为氧化钛、氧化铝、氧化锆或氧化镁；所述金属膜夹层为银或铜单质薄膜，或者为含银、铜的合金薄膜；所述第二氧化物层为透明氧化物非晶态薄膜，所述透明氧化物为金属氧化物(In2O3)x(MO)y(ZnO)z，其中0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤1，且x+y+z＝1，M为镓、锡、钛、铝、镁、钽、铪、镱、锆中的一种元素或两种以上的元素的任意组合。