[发明专利]抗蚀剂组合物及抗蚀图案的制造方法有效
| 申请号： | 201610200058.X | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN106019830B | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 河村麻贵;秋田诚 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 杜娟 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种可以制造具有良好抗裂性的抗蚀图案的抗蚀剂组合物，其是含有导入了能够通过酸的作用而断裂的保护基的酚醛清漆树脂、产酸剂、防蚀剂及溶剂的抗蚀剂组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 图案 制造 方法 | ||
【主权项】：
抗蚀剂组合物，含有导入了能够通过酸的作用而断裂的保护基的酚醛清漆树脂(A1)、产酸剂(B)、防蚀剂(G)及溶剂(D)。
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