[发明专利]气浮传输装置及传输方法和应用有效
| 申请号： | 201610200732.4 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN107285029B | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 阮冬;纪国友 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G51/03 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气浮传输装置和传输方法及应用，所述气浮传输装置用于在工件库和工件台之间传输基板，所述气浮传输装置包括：气浮单元、X向运动单元、Y向运动单元和机械手装置，所述X向运动单元和Y向运动单元设置在所述气浮单元上，所述气浮传输装置设备简单，装配难度低，根据所述气浮传输装置提供一种气浮传输方法，通过机械手装置从工件库上载基板至气浮单元，依靠气浮单元上的X向运动单元和Y向运动单元传输基板至工件台并从工件台上下载基板，通过机械手装置传输给工件库，传输过程中气浮单元只提供浮力使基板悬浮不参与基板传输，该方法简单易行，并能够提高基板的传输效率，所述气浮传输装置应用于光刻机能够提高光刻机的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 装置 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种气浮传输装置，设置在工件台和工件库之间，其特征在于，包括：气浮单元，为基板提供浮力，使所述基板悬浮于气浮单元上，且所述气浮单元在X向至少分三个工位，其中沿Y向与工件台相对应的工位为主工位；机械手装置，用于将所述基板上载到所述气浮单元和从所述气浮单元上下载所述基板；其中，所述机械手装置包括沿X向延伸的导轨、设置在所述导轨上的万向节和设置在所述万向节上的机械手；X向运动单元，设置在所述气浮单元上，用于所述基板在所述工位之间的传输；Y向运动单元，设置在所述气浮单元上且位于所述主工位或所述工件台上，用于所述基板在所述气浮单元和所述工件台之间的传输。
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