[发明专利]一种用于光刻机曝光的快门装置及其使用方法

摘要

本发明公开了一种用于光刻机曝光的快门装置及其方法，该装置包括快门叶片、驱动快门叶片旋转的旋转电机、与旋转电机电联接的控制器和用于支撑旋转电机的底座，快门叶片包括一旋转中心，以及对应旋转中心设置的至少一开口区域和遮蔽区域，旋转中心连接至旋转电机，旋转电机带动快门叶片旋转完成快门的开闭动作，以形成曝光区域和非曝光区域。本发明通过在遮蔽区域中设置镂空部分，减轻了快门叶片的质量，提高对快门叶片旋转过程中的控制效果，通过控制器的控制作用，将快门的开闭过程设于快门叶片的匀速运动的阶段，将快门叶片的加速和减速过程设于时间和行程都较为宽裕的快门关闭阶段，降低了对旋转电机的转矩的要求，有效缩短了快门的开闭时间。

主权项

1.一种用于光刻机曝光的快门装置，其特征在于，包括快门叶片、驱动所述快门叶片旋转的旋转电机、与所述旋转电机电联接的控制器和用于支撑所述旋转电机的底座，所述快门叶片包括一旋转中心，以及对应所述旋转中心设置的至少一开口区域和遮蔽区域，所述旋转中心连接至所述旋转电机，所述旋转电机带动所述快门叶片旋转完成快门的开闭动作，以形成曝光区域和非曝光区域，且在形成所述曝光区域和所述非曝光区域过程中，所述旋转电机和/或快门叶片旋转速度不为零。