[发明专利]显示装置

摘要

一个目的在于提供包括氧化物半导体膜的晶体管，其用于显示装置的像素部分，并且具有高可靠性。一种显示装置具有第一栅电极；在所述第一栅电极上的第一栅极绝缘膜；在所述第一栅极绝缘膜上的氧化物半导体膜；在所述氧化物半导体膜上的源电极和漏电极；在所述源电极、漏电极和氧化物半导体膜上的第二栅极绝缘膜；在所述第二栅极绝缘膜上的第二栅电极；在所述第二栅极绝缘膜上的具有平坦性的有机树脂膜；在所述具有平坦性的有机树脂膜上的像素电极，其中，通过二次离子质谱法测量的所述氧化物半导体膜内含有的氢原子的浓度低于1×10¹⁶cm^-3。

主权项

一种显示装置，包括：第一栅电极；在所述第一栅电极上的第一栅极绝缘膜；在所述第一栅极绝缘膜上的氧化物半导体膜，所述氧化物半导体膜包括In、Ga和Zn的三组分金属氧化物；在所述氧化物半导体膜上的源电极和漏电极，其中所述源电极和所述漏电极电连接至所述氧化物半导体膜；在所述源电极、所述漏电极和所述氧化物半导体膜上的第二栅极绝缘膜；在所述第二栅极绝缘膜上的第二栅电极；在所述第二栅极绝缘膜上的具有平坦性的有机树脂膜；在所述具有平坦性的有机树脂膜上的像素电极，其中所述像素电极电连接至所述源电极或者所述漏电极；与所述像素电极相邻的液晶层；以及在所述像素电极和所述液晶层上的对置基板。