[发明专利]一种线性加热源有效
| 申请号： | 201610203944.8 | 申请日： | 2016-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN105861991B | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 邹清华;郭书鹏;姚固;李元虎 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种线性加热源，包括具有出气口部件的加热腔室，所述出气口部件具有大小可调的出气口，所述出气口用于使得包含有蒸镀材料的气体通过。本发明所提供的线性加热源，能够调节蒸镀材料的气体分布，避免堵塞，提高效率，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线性 热源 | ||
【主权项】：
1.一种线性加热源，包括具有出气口部件的加热腔室，其特征在于，所述出气口部件具有大小可调的出气口，所述出气口用于使得包含有蒸镀材料的气体通过；所述出气口为条状，所述出气口由两个相对设置的短侧壁和两个相对设置的长侧壁限定而成，所述两个短侧壁设置在所述两个长侧壁的两端，所述加热腔室由顶部设有第一开口的长方体加热槽限定而成；所述出气口部件还包括固定板，所述长侧壁下端连接固定板，所述加热槽顶部第一开口处设有至少一个滑槽，至少一个所述固定板伸入所述滑槽中。
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