[发明专利]一种单晶硅圆片分离机构

摘要

本发明公开了一种单晶硅圆片分离机构，包括旋转盘，所述旋转盘的顶端中心位置设有液压装置，所述第二支撑板的顶端四角均设有固定柱，所述固定柱的顶端设有第一支撑板，所述旋转装置贯穿第二支撑板和第一支撑板与电机相连，所述旋转盘的上表面四周设有前后移动机构，所述旋转盘的底端四周设有分离吸盘，所述前后移动机构与分离吸盘相连。该分离机构，通过电机带动旋转装置转动，可以调节分离吸盘的角度，通过液压装置可以带动旋转盘伸缩，从而可以带动分离吸盘伸缩，通过前后移动机构可以带动分离吸盘在旋转盘的上位置，通过分离吸盘可以吸附住单晶硅圆片，从而实现快速分离的效果。

主权项

一种单晶硅圆片分离机构，包括旋转盘，其特征在于：所述旋转盘的顶端中心位置设有液压装置，所述液压装置的顶端设有旋转装置，所述液压装置的四周设有固定支撑柱，且固定支撑柱贯穿旋转盘，所述固定支撑柱的内侧设有支撑柱，所述支撑柱的顶端设有第二支撑板，所述第二支撑板的顶端四角均设有固定柱，所述固定柱的顶端设有第一支撑板，所述固定柱贯穿第一支撑板，所述旋转装置贯穿第二支撑板和第一支撑板与电机相连，所述旋转盘的上表面四周设有前后移动机构，所述旋转盘的底端四周设有分离吸盘，所述前后移动机构与分离吸盘相连。