[发明专利]一种喷嘴和刻蚀装置

摘要

本发明提供一种喷嘴和刻蚀装置，属于刻蚀技术领域，其可解决现有的刻蚀过程中由于积水效应导致刻蚀能力不均匀的问题。本发明的喷嘴的嘴套接于主体外，嘴套设有出液口；使用时，在通有刻蚀液的管道上连接多个该喷嘴，由于嘴套可相对于所述主体移动，因此相当于相应的调节了基板不同位置处的嘴套的出液口到待刻蚀基板的距离，从而控制刻蚀液的流出量，克服积水效应。具体的，可以调节待刻蚀基板中部的所述出液口到待刻蚀基板的距离小于待刻蚀基板边缘位置处的出液口到待刻蚀基板的距离。本发明的刻蚀装置适用于各种刻蚀工艺中。

主权项

1.一种刻蚀装置的喷嘴，其特征在于，包括：中空的主体，所述主体一端设有接口，另一端设有主体出液口，所述主体外壁设有主体连接部，所述主体的一端通过接口与管道连接；嘴套，包括嘴套连接部和嘴套出液口，所述嘴套通过所述嘴套连接部与所述主体连接部连接于所述主体设有主体出液口的一端的外侧；在沿所述主体出液的方向上，所述嘴套可相对于所述主体移动。