[发明专利]一种异质界面材料电镜观察样品制备方法

摘要

本发明公开了一种异质界面材料电镜观察样品制备方法，先取异质界面材料样品并进行第一次清洗，再通过电化学沉积法在异质界面材料样品的表面形成镀层，然后经过镶嵌包埋、磨制、抛光、侵蚀、第二次清洗及烘干后，获得可进行电镜观察的异质界面材料样品。本发明采用电化学沉积技术，在材料表面沉积金属合金，让外界面层成为中间层，再结合传统制样技术制备电子显微镜观察样品，金属镀层为异质界面材料的外层提供保护层并增加电子图像成像衬度，获得清晰可靠的数据；能有效观察异质界面材料的界面结构信息。

主权项

1.一种异质界面材料电镜观察样品制备方法，其特征是，通过电化学沉积法在异质界面材料样品的表面形成金属镀层，使异质界面材料样品的外界面层成为中间层，金属镀层为异质界面材料样品的外界面层提供保护层，然后经过处理获得可进行电镜观察的异质界面材料样品；所述制备方法具体包括：先取异质界面材料样品并进行第一次清洗，再通过电化学沉积法在异质界面材料样品的表面形成金属镀层，然后经过镶嵌包埋、磨制、抛光、侵蚀、第二次清洗及烘干后，获得可用于电镜观察的异质界面材料样品；异质界面材料为在温度压力作用下不发生物理化学变化的样品时，镶嵌包埋的方法为热镶嵌法，在温度压力作用下不发生物理化学变化的样品为钢铁渗氮层、钢铁渗碳层或钢铁磷化层，异质界面材料为对压力温度因素敏感材料的样品时，镶嵌包埋的方法为冷镶嵌法，对压力温度因素敏感材料的样品为以硅片基体上磁控溅射六硼化镧薄膜、以玻璃片为基体磁控溅射六硼化镧薄膜、以金属为基体磁控溅射六硼化镧薄膜、以陶瓷为基体液相成长六硼化镧薄膜或以纤维为基体气相沉积碳纳米管薄膜；所述电镜为扫描电子显微镜。