[发明专利]一种类金刚石碳薄膜的制备方法

摘要

本发明提供了一种类金刚石碳薄膜的制备方法，包括如下步骤：以离子液体溶液为原料，制备得到离子液体薄膜；将所述离子液体薄膜在惰性气氛下进行热处理，得到类金刚石碳薄膜。本发明提供的方案以离子液体作为碳源，拓展了热解法制备DLC薄膜的碳源选择。此外，本发明得到的DLC薄膜具有高硬度和高杨氏模量的特性。实验结果表明，杨氏模量Er为11.92GPa，硬度为5.1GPa。另外，本发明得到的DLC薄膜呈无定形非晶态碳结构，满足类金刚石的结构要求。

主权项

1.一种类金刚石碳薄膜的制备方法，包括如下步骤：以离子液体溶液为原料，制备得到离子液体薄膜；所述离子液体为1‑乙基‑3‑甲基咪唑四氟硼酸盐、1‑丁基‑3‑甲基咪唑四氟硼酸盐、1‑丁基‑3‑甲基咪唑六氟磷酸盐、1‑乙基‑3‑甲基咪唑六氟磷酸盐或N‑乙基吡啶六氟磷酸盐；将所述离子液体薄膜在惰性气氛下进行热处理，得到类金刚石碳薄膜；所述类金刚石碳薄膜的厚度为400～600nm；所述离子液体为1‑乙基‑3‑甲基咪唑四氟硼酸盐、1‑丁基‑3‑甲基咪唑四氟硼酸盐或1‑丁基‑3‑甲基咪唑六氟磷酸盐时，所述离子液体溶液的体积浓度为20～30％；所述离子液体为1‑乙基‑3‑甲基咪唑六氟磷酸盐或N‑乙基吡啶六氟磷酸盐时，所述离子液体溶液的质量浓度为20～30％；所述热处理的温度为400～500℃；所述热处理的时间为1～2小时。