[发明专利]一种微机电产品测量过程中温度均衡判断方法及系统

摘要

本发明涉及产品测试技术领域，提供一种微机电产品测量过程中温度均衡判断方法及系统，方法包括：控制将每一个温度传感器的温度数据存储到温度数据缓冲区内；将新采集到的温度数据与对应温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值和预先设置的温度波动范围值进行比较，判断每个温度数据缓冲区是否满足单一温度均衡条件；当测试腔体的每一个温度数据缓冲区内的温度数据均满足单一温度均衡条件时，判断测试腔体是否温度均衡；当测试腔体每一个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值均满足所述温度设定值和温度浮动值的范围时,判定所述测试腔体温度均衡，从而快速的对测试腔体的温度进行均衡判断，为测试芯片提供良好的稳定的测试环境。

主权项

1.一种微机电产品测量过程中温度均衡判断方法，其特征在于，所述方法包括下述步骤:控制将测试腔体内的每一个温度传感器所测量到的温度数据存储到对应的温度数据缓冲区内，获得每个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值、温度最大值所处位置以及温度最小值所处位置；在每个温度数据缓冲区内，将新采集到的温度数据与对应温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值和预先设置的温度波动范围值进行比较，同时，根据预先设置的温度采样点数，判断每个温度数据缓冲区是否满足单一温度均衡条件；当测试腔体的每一个温度数据缓冲区内的温度数据均满足单一温度均衡条件时，将测试腔体每一个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值与预先设定的温度设定值和温度浮动值进行比较,判断测试腔体是否温度均衡；当测试腔体每一个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值均满足所述温度设定值和温度浮动值的范围时,判定所述测试腔体温度均衡；所述在每个温度数据缓冲区内，将新采集到的温度数据与对应温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值和预先设置的温度波动范围值进行比较的步骤具体包括下述步骤:在每个温度数据缓冲区内，判断温度最大值所在的位置是否在温度最小值所在位置的前面；当温度最大值所在的位置在温度最小值所在位置的前面时，判断新采集到的温度数据是否大于所述温度数据缓冲区内温度最大值，当新采集到的温度数据大于所述温度数据缓冲区内温度最大值时，判断新采集的温度数据与所述温度最大值的差是否大于等于温度波动范围值，若新采集的温度数据与所述温度最大值的差大于等于温度波动范围值，则舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据，若新采集的温度数据与所述温度最大值的差小于温度波动范围值，则在温度数据缓冲区内舍弃温度最小值以及温度最小值之前的温度数据，当新采集到的温度数据小于等于所述温度数据缓冲区内温度最大值时，则将新采集到的温度数据与温度最小值进行比对判断，对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理；当温度最大值所在的位置在温度最小值所在位置的后面时，判断新采集到的温度数据是否大于所述温度数据缓冲区内温度最大值，当新采集到的温度数据大于所述温度数据缓冲区内温度最大值时，判断新采集的温度数据与所述温度最大值的差是否大于等于温度波动范围值，若新采集的温度数据与所述温度最大值的差大于等于温度波动范围值，则舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据，若新采集的温度数据与所述温度最大值的差小于温度波动范围值，则在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据，当新采集到的温度数据小于等于所述温度数据缓冲区内温度最大值时，则将新采集到的温度数据与温度最小值进行比较判断，对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理。