[发明专利]矩形波导微波与等离子体相互作用装置

摘要

一种矩形波导微波与等离子体相互作用装置。微波源通过铁氧体绝缘衰减器、定向耦合器，在真空密封微波窗处与矩形波导管相连，用于产生微波，并将微波传导至波导管作用区域。铁氧体绝缘衰减器设置于微波源后，定向耦合器前，用于调整输出微波的频率。矩形波导管左侧与微波发生装置相连，右侧为吸波负载，从而控制微波沿波导管传播。矩形波导管一侧通过金属网格与等离子体产生装置相连，包括飞行管、飞行管顶端的等离子体发生器及真空泵源。另一侧则通过隔膜与等离子体探针组相连。本装置能使频率可调的微波与等离子体按照实验者预想的过程发生相互作用，并检测相互作用发生后，等离子体与微波的参数。

主权项

一种矩形波导微波与等离子体相互作用装置，它包括微波源(1)，铁氧体绝缘衰减器(2)，定向耦合器(3)，真空密封微波窗(4)，矩形波导管(5)，金属网格(6)，飞行管(7)，等离子体发生器(8)，真空泵源(9)，多栅等离子体探针(10)，隔膜(11)，吸波负载(12)，多电极高压等离子探针组(13)。多电极高压等离子探针组(13)又包括：屏蔽等离子探针(14)，等离子内微波震荡探针(15)，微波天线(16)。微波源(1)通过铁氧体绝缘衰减器(2)、定向耦合器(3)，在真空密封微波窗(4)处与矩形波导管(5)相连，用于产生微波，并将微波传导至波导管作用区域。铁氧体绝缘衰减器(2)设置于微波源(1)后，定向耦合器(3)前，用于调整输出微波的频率。矩形波导管(5)左侧与微波发生装置相连，右侧为吸波负载(12)，从而控制微波沿波导管传播。矩形波导管(5)一侧通过金属网格(6)与等离子体产生装置相连，包括飞行管(7)、飞行管顶端的等离子体发生器(8)及真空泵源(9)。另一侧则通过隔膜(11)与等离子体探针组相连。