[发明专利]圆形波导微波与等离子体相互作用装置

摘要

一种圆形波导微波与等离子体相互作用装置。微波源通过衰减器、铁氧体绝缘器，在真空密封微波窗处与矩形波导管相连，然后通过矩形波导-圆形波导转换器与圆形波导管相连，用于产生微波，并将微波传导至波导管作用区域。衰减器设置于微波源后，与铁氧体绝缘器结合，用于调整输出微波的频率。矩形波导-圆形波导转换器顶部通过隔膜与作用区域的圆形波导管相连，底部为等离子源，等离子源则与软管相连并伸入圆形波导管中。圆形波导管末端设有吸波负载与真空泵源，另一端设有等离子体观察仪与探针和微波天线。本装置提供能使频率可调的微波与等离子体按照实验者预想的过程发生相互作用，并检测相互作用发生后，等离子体与微波的参数。

主权项

一种圆形波导微波与等离子体相互作用装置，它包括微波源(1)，衰减器(2)，铁氧体绝缘器(3)，真空密封微波窗(4)，转换器(5)，等离子源(6)，软管(7)，隔膜(8)，圆形波导管(9)，探针及微波天线(10)，等离子体观察仪(11)，吸波负载(12)，真空泵(13)。微波源(1)通过衰减器(2)、铁氧体绝缘器(3)，在真空密封微波窗(4)处与矩形波导管相连，然后通过矩形波导‑圆形波导转换器(5)与圆形波导管相连，用于产生微波，并将微波传导至波导管作用区域。衰减器(2)设置于微波源(1)后，与铁氧体绝缘器(3)结合，用于调整输出微波的频率。矩形波导‑圆形波导转换器(5)顶部通过隔膜(8)与作用区域的圆形波导管(9)相连，底部为等离子源(6)，等离子源则与软管(7)相连并伸入圆形波导管(9)中。圆形波导管(9)末端设有吸波负载(12)与真空泵源(13)，另一端设有等离子体观察仪(11)与探针和微波天线(10)。