[发明专利]板状体的研磨方法及研磨装置

摘要

本发明涉及一种板状体的研磨方法及研磨装置，使板状体保持部件和研磨工具相对靠近，从而通过上述研磨工具研磨由上述板状体保持部件所保持的上述板状体，其中，上述板状体保持部件保持板状体的非研磨面，并且进行公转及自转的某一个动作，上述研磨工具在对上述板状体的研磨面进行研磨的面上具有沿着一个方向的多个槽，并且该研磨工具进行公转及自转的另一个动作，在所述板状体的研磨方法中，独立控制上述板状体保持部件及上述研磨工具的上述公转动作及上述自转动作，在上述板状体的研磨过程中，变更上述自转的角速度。

主权项

一种板状体的研磨方法，具有如下工序：粘贴工序，在板状体的粘贴位置，将上述板状体的非研磨面粘贴到板状体粘贴部件上；板状体传送工序，通过朝向研磨位置的保持部将上述板状体粘贴部件从上述粘贴位置传送到上述研磨位置，其中，上述朝向研磨位置的保持部被安装成沿着配置在上述粘贴位置和上述研磨位置之间的引导部件移动自如，而在上述粘贴位置和上述研磨位置之间进行往返运动，在上述研磨位置具有研磨上述板状体的研磨面的研磨工具；研磨工序，在将上述板状体粘贴部件安装到设于上述研磨位置的板状体保持部件上后，通过上述研磨工具研磨粘贴在上述板状体粘贴部件上的上述板状体；板状体卸下工序，从上述板状体粘贴部件卸下上述板状体，并从上述板状体保持部件卸下该板状体粘贴部件，或者，从上述板状体保持部件卸下上述板状体粘贴部件，并从该板状体粘贴部件卸下上述板状体；以及送回工序，将卸下了上述板状体的上述板状体粘贴部件送回到上述粘贴位置，上述板状体的研磨方法的特征在于，上述研磨工序中，独立控制上述板状体保持部件及上述研磨工具的动作，使得上述板状体保持部件进行公转动作，上述研磨工具进行以预定角度范围旋回的自转动作或者进行预定角度范围的旋回与沿着上述板状体的研磨面的方向的摆动的组合动作，通过上述板状体保持部件和上述研磨工具使上述板状体和上述研磨工具之间产生相对运动。