[发明专利]气体精确分装装置

摘要

本发明公开了一种气体精确分装装置，包括相互并联且均与主管路连通的真空抽气设备、Ⅰ号容器、Ⅱ号容器、Ⅲ号容器、气体容器、压强计和分装容器，且上述设备及容器与主管路之间均设置有截止阀。本发明根据实际的气体新材料所需分装量选择不同体积的容器并联，使装置内所需压强在一个容易控制的范围；通过真空接口可以对装置进行真空处理，减少杂质混入；由于分装过程需要压强数据，通过压强检测口可以对装置压强进行监控；体积的精确标定可以降低实际分装过程中的体积误差，使分装量更准确；高真空抽气设备可以进一步降低分装过程中的杂质混入量；精度高于0.2%的压强计可以降低实际分装过程中的压强误差，使分装量更准确。

主权项

1.一种气体精确分装装置，其特征在于：包括相互并联且依次均与主管路（8）连通的真空抽气设备（6）、Ⅰ号容器（1）、Ⅱ号容器（2）、Ⅲ号容器（3）、气体容器（4）和分装容器（5），主管路（8）上安装有压强计（7）；真空抽气设备（6）与主管路（8）之间设置有D截止阀（9）；Ⅰ号容器（1）与主管路（8）之间设置有Ⅰ号截止阀（11）；Ⅱ号容器（2）与主管路（8）之间设置有Ⅱ号截止阀（12）；Ⅲ号容器（3）与主管路（8）之间设置有Ⅲ号截止阀（13）；气体容器（4）与主管路（8）之间设置有F截止阀（14）；分装容器（5）与主管路（8）之间设置有S截止阀（15）；压强计（7）与主管路（8）之间设置有P截止阀（10）。