[发明专利]一种基于接触式图像传感检测空气中颗粒物的方法

摘要

本发明公开了一种基于接触式图像传感检测空气中颗粒物的方法，把空气中采集的含有细颗粒物和可吸入颗粒物的气体在通道中流动经过CMOS图像传感器芯片上方，并用湿度控制或静电吸附等方式使颗粒物附着在图像传感器芯片表面。基于接触式图像传感的阴影成像原理，该传感器芯片可检测出颗粒物的大小和单位浓度。采用背照式CMOS工艺使图像传感器芯片的光电感应灵敏度提高，成像效果更好。这种检测空气中颗粒物的方法成本低，简单，不依赖于特殊光源设备，便于操作。

主权项

一种基于接触式图像传感检测空气中颗粒物的方法，其特征在于，包括一个接触式图像传感器芯片(6)，在图像传感器芯片(6)表面设有一个用MEMS或PDMS制作的微型气体流动通道(4)集成或粘贴在图像传感器芯片(6)的感光区域(7)上方，通道的进气孔(8)和出气孔(9)分别位于传感器左右两侧，检测方法步骤如下:(1)将包含细颗粒物的气体从进气口(8)泵入气体流动通道(4)中，借助空气中的湿度，等待气体中的颗粒物沉降或被吸附在图像传感器芯片(6)表面上；(2)用普通照明光源和自然光照射图像传感器芯片(6)表面区域，使气体流动通道(4)中的颗粒物的阴影形成在图像传感器芯片(6)表面的感光区域(7)上；(3)图像传感器芯片把颗粒物的阴影图像数据通过印制电路板(PCB)和可编程逻辑器件(FPGA)输出到计算机中；(4)计算机通过数据处理，把颗粒物的尺寸大小和浓度等信息统计并显示出来。