[发明专利]一种分子泵及其控制方法有效
| 申请号： | 201610212880.8 | 申请日： | 2016-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN105673526B | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 沈超;邵克坚;刘东升;吕煜坤;朱骏;张旭升 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D27/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种分子泵，包括：工艺参数输入单元，用于输入当前制程之工艺参数要求；设备控制分析系统，接受来自工艺参数输入单元的输入信息，并根据分子泵之抽气效率特征曲线选择分子泵之旋转叶片的转速，且生成相应的转速控制指令；分子泵控制器，接受设备控制分析系统输出的转速控制指令，并依靠PID调节器调节输入至叶片旋转驱动装置的功率，进而调整分子泵之旋转叶片的转速；转速反馈单元，实时反馈分子泵之旋转叶片的转速至设备控制分析系统，实现分子泵之抽气效率与当前制程之工艺要求相匹配。本发明不仅可根据当前制程之工艺参数要求，实时调整所述分子泵之旋转叶片的转速，实现抽气效率可控性和均匀性改善，而且减少能源消耗，节能减排。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种分子泵，其特征在于，所述分子泵，包括：工艺参数输入单元，用于输入当前制程之工艺参数要求；设备控制分析系统，接受来自所述工艺参数输入单元的输入信息，并根据所述分子泵之抽气效率特征曲线选择分子泵之旋转叶片的转速，且生成相应的转速控制指令；分子泵控制器，接受所述设备控制分析系统输出的转速控制指令，并依靠PID调节器调节输入至叶片旋转驱动装置的功率，进而调整分子泵之旋转叶片的转速；转速反馈单元，实时反馈分子泵之旋转叶片的转速至所述设备控制分析系统，实现分子泵之抽气效率与当前制程之工艺要求相匹配。
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