[发明专利]感光性树脂组合物及其应用在审
申请号: | 201610213140.6 | 申请日: | 2016-04-07 |
公开(公告)号: | CN106054527A | 公开(公告)日: | 2016-10-26 |
发明(设计)人: | 吴镇宇 | 申请(专利权)人: | 奇美实业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004;G02B1/14 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾台南*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明有关于一种感光性树脂组合物及其应用。上述感光性树脂组合物包含碱可溶性树脂(A)、具有乙烯性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(D)及溶剂(E)。此感光性树脂组合物可用于制作间隙体或保护膜,且此感光性树脂组合物具有较高的解析度及较少的残渣。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 及其 应用 | ||
【主权项】:
一种感光性树脂组合物,其特征在于,所述感光性树脂组合物包含:碱可溶性树脂(A);具有乙烯性不饱和基的化合物(B);光起始剂(C);邻萘醌二叠氮磺酸酯(D),包含具有如下式(I)所示的结构的邻萘醌二叠氮磺酸酯化合物(D‑1):
于式(I)中,R1分别独立地代表氢原子、经取代或未取代的烷基、芳香基或烯基;R2分别独立地代表氢原子或具有醌二叠氮结构的官能基;a、b、d及e分别代表大于或等于0的整数,且f及g的总和为大于或等于1的整数;当a、b、d及e的总和大于1时,多个R1分别为相同或不同,当f及g的总和大于1时,多个R2的至少一者具有醌二叠氮结构的官能基;以及溶剂(E)。
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