[发明专利]电镀铜药水的效果评价方法有效
| 申请号： | 201610214674.0 | 申请日： | 2016-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN105891312B | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 冯建松;章晓冬;刘江波;童茂军;王亚军 | 申请（专利权）人： | 广东天承科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/48 | 分类号： | G01N27/48;G01N27/30 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋;侯潇潇 |
| 地址： | 510990 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电镀铜药水的效果评价方法，提供测试装置，所述测试装置包括置于分析杯中的电极、与所述电极电连接的电化学工作站以及与所述电化学工作电连接的电脑，电极包括参比电极、辅助电极和工作电极，所述参比电极通过盐桥与所述分析杯中的电镀铜药水连接；在不同电镀电压下将所述电镀铜药水中的铜离子镀到所述工作电极上，然后利用LSV法剥离所述工作电极上的铜，并计算出镀铜量，镀铜量随电镀电压的变化越小，该电镀铜药水的整平、填孔效果越好。通过本发明的效果评价方法可快速评价电镀铜药水的效果，而且工作量小、评价周期短，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 镀铜 药水 效果 评价 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电镀铜药水的效果评价方法，其特征在于，提供测试装置，所述测试装置包括置于分析杯中的电极、与所述电极电连接的电化学工作站以及与所述电化学工作电连接的电脑，所述电极包括参比电极、辅助电极和工作电极，所述参比电极通过盐桥与所述分析杯中的电镀铜药水连接；在不同电镀电压下将所述电镀铜药水中的铜离子镀到所述工作电极上，然后利用LSV法剥离所述工作电极上的铜，并计算出镀铜量，镀铜量随电镀电压的变化越小，该电镀铜药水的整平、填孔效果越好；其中，所述镀铜量通过LSV法测量曲线中的剥离峰面积推导得到。
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