[发明专利]具有多束和后探测图像校正的扫描透射电子显微镜

摘要

实施例针对一种用于生成样品的校正图像的信息处理系统。该系统包括：探测器；存储器，该存储器可通信地耦合到探测器；以及后探测图像处理器，该后探测图像处理器可通信地耦合到存储器和探测器。配置该探测器，以探测多个运动粒子的数据，其中多个运动粒子的数据对应于样品的未校正图像，并且其中未校正图像包括散焦、像散和球面像差。配置后探测图像处理器，以至少部分地根据对多个运动粒子的探测数据的处理，生成样品的校正图像。

主权项

1.一种用于生成样品的校正图像的信息处理系统，所述系统包括：探测器；存储器，可通信地耦合到所述探测器；以及后探测图像处理器，可通信地耦合到所述存储器和所述探测器；其中所述探测器配置为探测多个运动粒子的数据对应于所述多个运动粒子的数据的所述样品的未校正图像，所述样品的未校正图像包括散焦、像散和球面像差；并且其中所述后探测图像处理器配置为接收所述样品的未校正图像，至少部分地根据对所述多个运动粒子的探测数据的处理，由所述样品的未校正图像生成所述样品的校正图像。