[发明专利]贯穿包括结构和制造方法的高效率晶体太阳能电池中的钝化电介质层的屏蔽电触点和掺杂

摘要

一种太阳能电池结构和形成方法，其结合钝化电介质层利用表面纹理来提供形成贯穿所述钝化电介质层且在导电层与下方的衬底之间的电触点的实用和可控制的技术，实现了高效率太阳能电池所需的具有低复合损耗的良好表面钝化和电触点。有意地修改所述钝化电介质层以允许与所述衬底的直接接触或隧道势垒接触。公开了另外的P‑N结和掺杂梯度以进一步限制损耗并提高效率。

主权项

一种用于形成太阳能电池结构的方法，包括：提供纹理衬底，所述纹理衬底包括具有尖峰的纹理结构；在所述纹理衬底之上提供钝化电介质层；在所述尖峰处形成屏蔽触点，所述形成包括从所述纹理衬底的所述尖峰之上至少部分优先减薄所述钝化电介质层，所述优先减薄包括：将电偏压引入到所述纹理衬底中，所述电偏压导致所述尖峰处优先增大的电场强度；朝向所述纹理衬底之上的所述钝化电介质层定向离子，其中所述尖峰处的所述增大的电场强度优先朝向所述尖峰定向所述离子，由此优先减薄所述尖峰之上的所述钝化电介质层。