[发明专利]一种激光诱导击穿光谱分析仪的滤波系统有效

专利信息
申请号: 201610217213.9 申请日: 2016-04-08
公开(公告)号: CN105758842B 公开(公告)日: 2018-10-19
发明(设计)人: 田玉明;马骏骁;杨光 申请(专利权)人: 苏州启翔仪器科技有限公司
主分类号: G01N21/71 分类号: G01N21/71;G01N21/01
代理公司: 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 代理人: 巴晓艳
地址: 213011 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种激光诱导击穿光谱分析仪,能够同时进行至少一个成分的特征谱线的检测与分析,包括一滤波系统,对多波长复合光谱的光线进行分离,滤波系统包括:第一透镜组,衍射光栅和滤波元件,滤波元件至少包括一个入射/出射面和两个具有反射功能的表面,入射光线中的所需波长的光线经过滤波元件后,被与光线收集端子相间隔开的光线分离端子所接收,其余波长的光线被引导出滤波元件且不进入相应的光线分离端子形成干扰。
搜索关键词: 一种 激光 诱导 击穿 光谱分析 滤波 系统
【主权项】:
1.一种激光诱导击穿光谱分析仪,能够同时进行至少一个成分的特征谱线的检测与分析,包括:激光光源系统,其发出高能量脉冲激光通过透镜聚焦到样品表面;样品台,承载待测样品,被烧蚀的样品形成激光诱导等离子体,向四周发射多波长复合光谱的光线;光线收集端子,用于收集所述发射的多波长复合光谱的光线,并将其全部引导至滤波系统;光线分离端子,用于采集经所述滤波系统滤波后的所需波长的光线,并将其引导至光电检测器;其特征在于:所述滤波系统,对所述发射的多波长复合光谱的光线进行分离,滤波系统包括:第一透镜组,衍射光栅和滤波元件,第一透镜组具有负屈光度,滤波元件至少包括一个入射/出射面和两个具有反射功能的表面,入射光线中的所需波长的光线经过滤波元件后,被与光线收集端子相间隔开的光线分离端子所接收,其余波长的光线从不同于所述入射/出射面的表面从滤波元件出射,且不进入相应的光线分离端子形成干扰。
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