[发明专利]掩模以及利用其使有机发光显示设备的像素图案化的方法有效
申请号: | 201610219396.8 | 申请日: | 2016-04-11 |
公开(公告)号: | CN106169535B | 公开(公告)日: | 2020-10-20 |
发明(设计)人: | 李相信;河东振;姜敏求;权五燮;李尙玟 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H01L51/56 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 王达佐;刘铮 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了一种用于有机发光显示设备的像素图案化和像素位置检查的方法和用于有机发光显示设备的像素图案化掩模,其中该方法包括:使用第一掩模,在衬底上形成与第一像素图案和用于检查第一像素位置的第一像素定位图案对应的第一颜色薄膜层;使第一掩模从与形成第一颜色薄膜层相关联的位置移动确定间距;使经移动的第一掩模相对于衬底对准;以及使用经移动的第一掩模,在衬底上形成与第一像素图案和用于检查第一像素的位置的第一像素定位图案对应的第二颜色薄膜层。 | ||
搜索关键词: | 以及 利用 有机 发光 显示 设备 像素 图案 方法 | ||
【主权项】:
一种用于有机发光显示设备的像素图案化和像素位置检查的方法,所述方法包括:使用第一掩模在衬底上形成第一颜色薄膜层,所述第一掩模包括第一像素图案和用于检查第一像素位置的第一像素定位图案,所述第一颜色薄膜层与所述第一像素图案和所述用于检查第一像素位置的第一像素定位图案相对应;使所述第一掩模从与形成所述第一颜色薄膜层关联的位置移动确定的间距;相对于所述衬底对准经移动的所述第一掩模;以及使用经移动的所述第一掩模在所述衬底上形成第二颜色薄膜层,所述第二颜色薄膜层与所述第一像素图案和用于检查第一像素位置的所述第一像素定位图案相对应。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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