[发明专利]阴极单元

摘要

本发明公开了一种阴极单元，该阴极单元(220)用于成膜装置(200)，包括：多个靶(C1、C2、C3)，设置在成膜空间(50)内，并具有背板(204)、第一母材(205)、第二母材(206)和旋转轴(207)，所述背板具有第一主面(204a)、第二主面(204b)、第一侧面(211)及第二侧面(212)，多个旋转轴(207)以相互平行地排列的方式配置在同一平面内；多个控制部(E1、E2、E3)，使所述旋转轴(207)旋转，并对所述靶(C1、C2、C3)施加用于溅射的电压；多个磁场生成部(H1、H2、H3)，设置在靠近所述背板(204)的远离所述成膜空间(50)的表面的位置，使得在所述背板(204)的靠近所述成膜空间(50)的表面生成特定的分布磁场。

主权项

1.一种用于成膜装置的阴极单元，其特征在于，包括：多个靶，设置在成膜空间内，并具有背板、第一母材和第二母材，所述背板具有第一主面、位于所述第一主面的相反侧的第二主面、第一侧面及位于所述第一侧面的相反侧的第二侧面，所述第一母材配置在所述第一主面上，所述第二母材配置在所述第二主面上；多个控制部，以所述多个靶各自所具有的旋转轴为中心使所述多个靶旋转，对所述靶施加用于溅射的电压，并分别与多个靶对应设置；和多个磁场生成部，位于所述靶的外部，并且设置在靠近所述背板的远离所述成膜空间的表面的位置，使得在所述背板的靠近所述成膜空间的表面生成特定的分布磁场，所述磁场生成部具备退避驱动部，当所述靶旋转时所述退避驱动部使所述磁场生成部退避至与所述靶的旋转半径相比更外侧，当所述靶的旋转结束时所述退避驱动部使所述磁场生成部回到与所述靶的旋转半径相比更内侧，所述旋转轴以相互平行地排列的方式配置在同一平面内，在所述多个靶中，一对邻接的靶以所述旋转轴为中心彼此反方向旋转，所述磁场生成部当在所述第一母材上生成泄漏磁通时配置在靠近所述第二母材的位置，当在所述第二母材上生成泄漏磁通时配置在靠近所述第一母材的位置。