[发明专利]一种废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法有效
| 申请号： | 201610220120.1 | 申请日： | 2016-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN105671501B | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 肖世文 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C24/04;C23C4/12 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 510850 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法，用于解决废旧旋转靶材回收、修复和再喷涂的技术问题，包括以下步骤：废旧旋转靶材的包装回收；旋转靶材的缺陷检查；旋转靶材的缺陷加工；确定旋转靶材余量；根据确定的旋转靶材余量进行喷涂修复。本发明的有益效果在于，回收废旧旋转靶材重新修复，省略了基管加工、喷砂、喷中间层等前期工序，节约了成本，实现了靶材循环使用；解决了缺陷靶材的修复难题，不必整管报废，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 废旧 旋转 回收 修复 再加 方法 | ||
【主权项】：
1.一种废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：废旧旋转靶材的包装回收；S2：旋转靶材的缺陷检查；S3：旋转靶材的缺陷加工；S4：确定旋转靶材余量；其中，步骤S4中所述确定旋转靶材余量，包括以下步骤：S41：将旋转靶材固定在喷涂架上，将光学测距模块相对旋转靶材安装在行走机构上；S42：匀速旋转旋转靶材，光学测距模块自左往右匀速水平运动；S43：记录不同时间点旋转靶材表面到探测器的距离，建立旋转靶材坐标和厚度坐标系；S44：通过所述旋转靶材坐标和厚度坐标系换算出相对位置的旋转靶材厚度；S5：根据步骤S4中确定的旋转靶材余量进行喷涂修复。
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