[发明专利]激光远场焦斑高精度动态诊断装置及诊断方法

摘要

本发明提供了一种的激光远场焦斑高精度动态诊断装置及方法，旨在解决现有技术分辨率低、误差大的弊端。本发明包括依次设置在同一光路上的单模光纤激光器、准直镜、可变光阑、分束镜、取样镜、缩束/扩束系统、反射镜、多通道二元光学元件、CCD探测器；还包括设置在分束镜反射光路上的参考积分球功率计，设置在反射镜反射光路上的测量积分球功率计，以及同时与参考积分球功率计、测量积分球功率计以及CCD探测器相联的控制计算机。本发明可实现对不同口径大小的激光光束的远场焦斑诊断，具有精度高、测量结果置信度高、稳定性好的优点。

主权项

1.激光远场焦斑高精度动态诊断装置，包括单模光纤激光器、准直镜、可变光阑、分束镜、缩束/扩束系统、反射镜、CCD探测器和控制计算机；其特征在于：还包括取样镜、参考积分球功率计、测量积分球功率计、多通道二元光学元件；所述准直镜、可变光阑、分束镜、取样镜、缩束/扩束系统、反射镜、多通道二元光学元件以及CCD探测器依次设置在单模光纤激光器的输出光路上；所述参考积分球功率计设置在所述分束镜的反射光路上；所述测量积分球功率计设置在所述反射镜的反射光路上；所述控制计算机同时与参考积分球功率计、测量积分球功率计以及CCD探测器相联；所述单模光纤激光器的光纤端面置于准直镜的焦点处，光纤芯径小于2.44λf/d，其中λ为单模光纤激光器输出激光的波长，f为所述准直镜的焦距，d为所述准直镜的出瞳尺寸；所述多通道二元光学元件位于所述缩束/扩束系统的出瞳位置，用于将缩束/扩束系统入瞳处的激光光束近场分割成一系列子孔径区域。