[发明专利]导电球固定用掩模及其制造方法

摘要

提供导电球固定用掩模和导电球固定用掩模的制造方法。该导电球固定用掩模用于在基板或晶片上形成凸块，具有间隔件，并且不易损伤工件，所述间隔件的厚度在掩模整体上一定，且以面状、线状等多种设计图案形成，耐化学性、机械强度优异。使用聚酰亚胺等树脂制薄板作为形成间隔件的部件，在薄板，通过紫外线形成一定的设计图案的间隔件，贴附至利用电解电镀等制作的金属掩模上。或者，也可以在金属掩模上贴附树脂薄板的状态下，加工间隔件。

主权项

一种导电球固定用掩模，用于将导电球固定于以预定图案排列在工件的被固定面上的电极上，其特征在于，具备平板状的金属掩模和薄膜状的薄板；所述金属掩模具有以与所述电极相对应的图案形成于面内、且能够插通导电球的大小的开口；所述薄板具有由作为耐热耐化学树脂的聚酰亚胺构成的树脂层；在所述薄板的面内将该薄板以一定的设计图案切除而形成有间隔件，所述一定的设计图案为格子状、线状、面状或这些的组合；所述金属掩模和所述薄板以所述树脂层朝向表面侧、所述间隔件不阻塞所述开口的方式，通过由环氧树脂构成的热/压力硬化型的粘接薄板粘接；在所述间隔件的周围形成有空气槽。