[发明专利]一种全自动植球机及其植球方法

摘要

本发明涉及一种全自动植球机及植球方法。全自动植球机包括架台、网板、供球机构、六自由度机械手、刮板及三维力传感器，网板通过网板夹持机构固定于架台上，所述的网板上设有与晶圆PAD点相对应的网孔，供球机构向网板上供应锡球；六自由度机械手为刮板动作的驱动机构，用于模仿手工植球方式，刮板设在六自由度机械手末端，受六自由度机械手带动而进行植球动作，三维力传感器设在六自由度机械手末端与刮板之间，用于检测植球过程中刮板的受力突变，并将刮板受力信息传递给六自由度机械手。与现有技术相比，本发明的植球机采用六自由度机械手，模仿人工植球动作，使植球动作更柔性、平稳，在工厂大批量生产情况下，稳定的植球质量可以得到保障。

主权项

1.一种全自动植球机，其特征在于，包括：架台(7)，网板(9)：通过网板夹持机构固定于架台(7)上，所述的网板(9)上设有与晶圆(20)PAD点相对应的网孔；供球机构：设在架台(7)上，用于向网板(9)上供应锡球(19)；六自由度机械手(1)：设在架台(7)旁，为刮板(6)动作的驱动机构；刮板(6)：设在六自由度机械手(1)末端，受六自由度机械手(1)带动而进行植球动作；三维力传感器(5)：设在六自由度机械手(1)末端与刮板(6)之间，用于检测植球过程中刮板(6)的受力突变，并将刮板(6)受力信息传递给六自由度机械手(1)。