[发明专利]一种利用纳米互连制备金属纳米线的方法及其应用有效
| 申请号： | 201610224485.1 | 申请日： | 2016-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN105798447B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 孙立宁;陈之超;杨湛;陈涛 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | B23K15/00 | 分类号： | B23K15/00 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种利用纳米互连制备金属纳米线的方法，包括：a)制备金属纳米颗粒旋涂溶液；b)将所述金属纳米颗粒旋涂溶液旋涂于导电材料表面，形成旋涂层；c)在第一条件下，在所述导电材料表面用电子束聚焦在所述旋涂层上，所述金属纳米颗粒随所述电子束的运动轨迹形成金属纳米线。本发明满足纳米装置制造的要求，实现每个纳米节点之间可控地、低温地焊接与互连，并且在高分辨率(1.5nm)的扫描电子显微镜下可以精确的对某个纳米点进行焊接与互连。 | ||
| 搜索关键词： | 互连 制备金属纳米 旋涂 电子束 导电材料表面 金属纳米颗粒 焊接 扫描电子显微镜 金属纳米线 第一条件 高分辨率 纳米装置 运动轨迹 纳米点 可控 聚焦 应用 制造 | ||
【主权项】：
1.一种利用纳米互连制备金属纳米线的方法，其特征在于，包括：a)提供金属纳米颗粒与溶剂混合；将所述混合后的溶液进行超声波清洗，得到旋涂溶液；b)将所述金属纳米颗粒旋涂溶液旋涂于导电材料表面，形成旋涂层；c)在第一条件下，将电子束聚焦于所述旋涂层上任意一个金属纳米颗粒上；移动所述电子束，所述金属纳米颗粒随所述电子束的运动轨迹形成金属纳米线；所述第一条件为：加速电压为1～10kV、工作距离为1～10mm、放大倍数为5～10K。
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