[发明专利]图形测试方法

摘要

本发明提供一种图形测试方法。所述图形测试方法包括：光源发射的光束经过光路转换系统转换后入射至一参考样片上，探测器根据所述参考样片的反射光得到所述参考样片的反射率；光源发射的光束经过光路转换系统转换后入射至一待测样片上，探测器根据所述待测样片的反射光得到所述待测样片的反射率；所述探测器将所述待测样片的反射率与所述参考样片的反射率进行比较以确定所述待测样片是否异常。该测试方法对测试设备的分辨率没有要求、简单易操作，无需特殊技能，且成本较低。

主权项

1.一种图形测试方法，其特征在于，包括：步骤S1：光源发射的光束经过光路转换系统转换后入射至一参考样片上，探测器根据所述参考样片的反射光得到所述参考样片的反射率；步骤S2：光源发射的光束经过光路转换系统转换后入射至一待测样片上，探测器根据所述待测样片的反射光得到所述待测样片的反射率；步骤S3：所述探测器将所述待测样片的反射率与所述参考样片的反射率进行比较以确定所述待测样片是否异常；其中，所述图形测试方法采用一种图形测试系统，所述图形测试系统包括：第一腔体；设置于所述第一腔体内的第二腔体，所述第二腔体具有一出光口；设置于所述第一腔体内的承片台；以及设置于所述第二腔体内的光源、光路转换系统和探测器；所述光源发射的光束经过所述光路转换系统转换后通过出光口入射至所述承片台承载的待测样片上，所述探测器根据所述待测样片的反射光得到所述待测样片的反射率，并将所述待测样片的反射率与参考样片的反射率进行比较以确定所述待测样片是否异常。