[发明专利]曝光装置及其检查方法

摘要

提供一种在印刷布线基板等的曝光装置中能够检测成为光源的放电灯是否为正品的曝光装置及其检查方法。该曝光装置(100)的特征在于，具备：包括放电灯(1)、白炽灯(2)和反射体容器(3)的1个或多个光源装置(4)、安装所述光源装置(4)的框架(5)、向所述白炽灯2提供电流的恒流电源(8)、对来自所述恒流电源(8)的所述电流进行通断的开关(10)、对所述开关(10)在规定的时间进行通断的控制部(9)、对所述白炽灯(2)的两端电压进行测量的测量部(11)、比较所述两端电压和规定的电压范围的比较部(12)、使用所述比较结果来判定所述放电灯(1)是否为正品的判定部(13)以及显示部(14)。

主权项

一种曝光装置，其特征在于，具备：1个或多个光源装置，该光源装置包括成为光源的放电灯、检测所述放电灯是否为正品的白炽灯以及安装有所述放电灯以及所述白炽灯的反射体容器；框架，朝向被照射物地安装所述光源装置；恒流电源，向所述白炽灯提供电流；开关，对来自所述恒流电源的所述电流进行通断；控制部，在所述放电灯的点亮中对所述开关进行通断来使所述白炽灯点亮规定的时间；测量部，在所述开关导通时起规定时间后测量点亮中的所述白炽灯的两端电压；比较部，比较由所述测量部测量出的所述两端电压和判定所述放电灯是否为正品的规定的上限值以及下限值的电压范围；判定部，接受来自所述比较部的信号，在所述两端电压在所述规定的上限值以及下限值的电压范围内的情况下，判定检查对象放电灯为正品，在所述两端电压在所述规定的上限值以及下限值的电压范围外的情况下，判定检查对象放电灯为非正品；以及显示部，显示判定结果。