[发明专利]一种多层纳米复合相变薄膜材料及其制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 201610226602.8 申请日: 2016-04-12
公开(公告)号: CN105679934A 公开(公告)日: 2016-06-15
发明(设计)人: 吴冬燕;章雯;蒋爱如;吴阳江 申请(专利权)人: 苏州工业职业技术学院
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00;C23C14/35;C23C14/18;C23C14/16;C23C14/06
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 215104 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开一种多层纳米复合相变薄膜材料及其制备方法和应用,该材料由单层Sn2Se3薄膜和单层Sb薄膜交替排列,将一层Sn2Se3薄膜和一层Sb薄膜作为一个交替周期,后一个交替周期的Sn2Se3层沉积在前一个交替周期的Sb层的上方;该薄膜材料的膜结构通式为[Sn2Se3(a)/Sb(b)]x,其中a、b分别表示所述单层Sn2Se3薄膜、单层Sb薄膜的厚度,1nm≤a≤50nm,1nm≤b≤50nm,x表示单层Sn2Se3和单层Sb薄膜的交替周期数或者交替层数,且x为正整数。该相变薄膜材料利用Sb作为结晶诱导层,可以加快相变材料的相变速度,同时结合了Sn2Se3熔点低、热稳定性好的优点;再次,利用多层纳米复合结构中多层界面的夹持效应,可以减小晶粒尺寸,从而缩短结晶时间,抑制晶化,在提高热稳定性的同时加快相变速度。
搜索关键词: 一种 多层 纳米 复合 相变 薄膜 材料 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
1.一种多层纳米复合相变薄膜材料,其特征在于:该材料由单层Sn2Se3薄膜和单层Sb薄膜交替排列,将一层Sn2Se3薄膜和一层Sb薄膜作为一个交替周期,后一个交替周期的Sn2Se3层沉积在前一个交替周期的Sb层的上方;该薄膜材料的膜结构通式为[Sn2Se3(a)/Sb(b)]x,其中a、b分别表示所述单层Sn2Se3薄膜、单层Sb薄膜的厚度,1nm≤a≤50nm,1nm≤b≤50nm,x表示单层Sn2Se3和单层Sb薄膜的交替周期数或者交替层数,且x为正整数。
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