[发明专利]一种多层纳米复合相变薄膜材料及其制备方法和应用在审
申请号: | 201610226602.8 | 申请日: | 2016-04-12 |
公开(公告)号: | CN105679934A | 公开(公告)日: | 2016-06-15 |
发明(设计)人: | 吴冬燕;章雯;蒋爱如;吴阳江 | 申请(专利权)人: | 苏州工业职业技术学院 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;C23C14/35;C23C14/18;C23C14/16;C23C14/06 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215104 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明公开一种多层纳米复合相变薄膜材料及其制备方法和应用,该材料由单层Sn |
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搜索关键词: | 一种 多层 纳米 复合 相变 薄膜 材料 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
1.一种多层纳米复合相变薄膜材料,其特征在于:该材料由单层Sn2 Se3 薄膜和单层Sb薄膜交替排列,将一层Sn2 Se3 薄膜和一层Sb薄膜作为一个交替周期,后一个交替周期的Sn2 Se3 层沉积在前一个交替周期的Sb层的上方;该薄膜材料的膜结构通式为[Sn2 Se3 (a)/Sb(b)]x ,其中a、b分别表示所述单层Sn2 Se3 薄膜、单层Sb薄膜的厚度,1nm≤a≤50nm,1nm≤b≤50nm,x表示单层Sn2 Se3 和单层Sb薄膜的交替周期数或者交替层数,且x为正整数。
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