[发明专利]一种重复激光熔覆制备高密度氧化铟锡靶材的方法

摘要

本发明公开了一种重复激光熔覆制备高密度氧化铟锡靶材的方法，属于氧化铟锡靶材制备技术领域。本发明将氧化铟锡粉末与双氧水混合，经超声分散后，与己二胺、钛酸四丁酯水浴加热，过滤得滤饼，经酸洗碱浸、过滤干燥后，与过氧化苯甲酰、聚乙烯醇等物质混合球磨制得球磨改性粉末，将其于模具中压实干燥，经重复激光熔覆烧结制得高密度氧化铟锡靶材。本发明的有益效果是：本发明制备步骤简单，所得产品的成品率高于其他产品20.6%以上；该氧化铟锡靶材稳定性好，密度高于其他产品16.8%以上，有效解决了分层和裂纹现象。

主权项

 一种重复激光熔覆制备高密度氧化铟锡靶材的方法，其特征在于具体制备步骤为：（1）按质量比1:5，将氧化铟锡粉末与质量浓度为10%的双氧水搅拌混合，在200～300W下超声分散处理10～15min，制备得氧化铟锡分散液，随后按重量份数计，分别量取35～55份制备的氧化铟锡分散液、20～30份己二胺和25～35份钛酸四丁酯置于三口烧瓶中，在70～80℃下水浴加热2～3h；（2）待加热完成后，对其过滤并收集滤饼，用质量浓度10%硫酸洗涤pH至3.5，制备得酸化氧化铟锡，随后按固液质量比1:5，将其置于质量浓度为30%氢氧化钠溶液中浸泡2～3h，待浸泡完成后，对其过滤并收集滤饼，用去离子水洗涤至pH至7.0，再在65～80℃下干燥2～3h，制备得改性氧化铟锡粉末；（3）按重量份数计，分别称量35～55份去离子水、10～15份过氧化苯甲酰、25～30份上述制备的改性氧化铟锡粉末、5～10份丙烯酸树脂和5～10份聚乙烯醇置于球磨罐中，按球料质量比2:1，在80～100r/min下，用氧化锆球球磨30～40h，制备得球磨改性粉末；（4）将上述制备的球磨改性粉末置于厚度为3～5mm不锈钢模具中，压实并在75～80℃下干燥2～3h，待干燥完成后，将其脱模并置于激光熔覆装置下，设置激光功率为1.5～2.0KW，光斑直径为3mm，扫描速度为3mm/s，接搭率为50%，在同轴通入氩气进行保护，再对其熔覆烧结，制备得氧化铟锡靶材基层；（5）待烧结完成后，根据所需靶材大小，再将3～5mm厚的球磨改性粉末覆盖至上述制备的氧化铟锡靶材基层表面，重复上述激光熔覆条件，再次熔覆烧结，直至符合规格，即制备得一种高密度氧化铟锡靶材。