[发明专利]一种硅片切割废弃硅浆料回收制备多孔碳化硅的方法有效
| 申请号： | 201610228954.7 | 申请日： | 2016-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN105883815B | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 王禄宝;刘明权;梅森;翟彩虹 | 申请（专利权）人： | 镇江环太硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/97 | 分类号： | C01B32/97 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 陈丽君 |
| 地址： | 212200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅片切割废弃硅浆料回收制备多孔碳化硅的方法，其方法如下：（1）废弃硅浆料固液分离，分离得固相和液相；（2）固相与pH值为0.1~2.0无机酸水溶液混合，酸处理后固液分离，分离得固体和液体；（3）固体通入具有含氯物质的惰性气体充分接触，反应即得到多孔碳化硅；采用本发明所述的方法，工艺流程和生产周期短、回收率高达98.5%，获得的多孔碳化硅具有较高的表面积和孔容，可作为载体应用于合成氨、对羟基苯甲醛加氢、腈类化合物加氢、烷烃脱氢和芳烃氧化等领域，从而减小资源浪费和环境污染，提高副产品价值。 | ||
| 搜索关键词： | 多孔碳化硅 硅浆料 废弃 固液分离 硅片切割 加氢 制备 无机酸水溶液 生产周期 合成氨 腈类化合物 充分接触 对羟基苯 惰性气体 含氯物质 烷烃脱氢 芳烃 回收 工艺流程 酸处理 减小 孔容 回收率 甲醛 应用 | ||
【主权项】：
1.一种硅片切割废弃硅浆料回收制备多孔碳化硅的方法，其特征为，其方法如下：（1）取硅片切割产生的废弃硅浆料进行固液分离，分离得固相和液相，所述废弃硅浆料含碳化硅，硅和聚乙二醇，所述碳化硅，硅和聚乙二醇的质量比为21:4:15；（2）取步骤（1）所得固相，与pH值为0.1~2.0无机酸水溶液混合，所述无机酸水溶液与固相的质量比为（0.5~10）:1，无机酸包括硫酸、硝酸和磷酸，在60~80℃的条件下酸处理2~8h，随后进行固液分离，分离得固体和液体；（3）取步骤（2）所得固体，通入具有含氯物质的惰性气体充分接触，所述具有含氯物质的惰性气体中，含氯物质的质量百分比浓度为0.05~2.5%，在800~1400℃的条件下，反应2~8h，即得到多孔碳化硅。
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